PVD- und CVD-Vakuumöfen

PVD- und CVD-Vakuumöfen dienen zum Aufbringen von Beschichtungen auf Werkzeuge. In der Anlage wird ein Hoch- oder Ultrahochvakuum von 10⁻⁹ mbar erzeugt, um die Beschichtung von Bauteilen mit Substraten aus Metallen, Keramik und Kohlenstoff, z. B. Titan, Nickel und Chrom, durchzuführen. Die AMP-Anlagen ermöglichen das Aufbringen von Mehrschichtbeschichtungen, den sogenannten Hybridbeschichtungen, und gewährleisten so einzigartige mechanische Eigenschaften für die bearbeiteten Teile, z. B. Bohrer, Fräser oder gesinterte Drehmeißel usw. Die Teile werden in speziellen Halterungen positioniert, die eine gleichmäßige Bestrahlung der Werkstücke in jedem Bereich der Kammer gewährleisten.