PVD- und CVD-Vakuumöfen
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Vakuumöfen für die Aufbringung von PVD- und CVD-Schichten
PVD-CVD-Vakuumöfen werden zum Aufbringen von Beschichtungen auf Werkzeuge verwendet. Im Ofen wird ein Hoch- oder Ultrahochvakuum von 10^-9mbar erzeugt, um Sputterprozesse auf Teilen mit Metall-, Keramik- oder Kohlenstoffsubstraten, z. B. Titan, Nickel oder Chrom, durchzuführen. AMP-Anlagen ermöglichen das Aufbringen von Mehrschichtbeschichtungen, so genannten Hybridbeschichtungen, die den zu behandelnden Teilen, z. B. Bohrern, Fräsern oder gesinterten Drehmessern, einzigartige mechanische Eigenschaften verleihen. Die Teile werden in spezielle Halterungen gelegt, die sicherstellen, dass die Werkstücke in jedem Bereich der Kammer gleichmäßig belichtet werden.